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[특집-기술위원회] TC 201 - 표면 화학 분석(Surface chemical analysis)
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[특집-기술위원회] TC 201 - 표면 화학 분석(Surface chemical analysis)

직접적인 책임 하에 개발 중인 표준 2개

Japan Jisc Homepage5.jpg
▲ 일본 산업표준조사회(日本産業標準調査会, Japanese Industrial Standards Committee, JISC) 홈페이지

 

스위스 제네바에 본부를 두고 있는 국제표준화기구(ISO)에서 활동 중인 기술위원회(Technical Committeee, TC)는 TC 1~TC 323까지 구성돼 있다.

기술위원회의 역할은 기술관리부가 승인한 작업범위 내 작업 프로그램 입안, 실행, 국제규격의 작성 등이다. 또한 산하 분과위원회(SC), 작업그룹(WG)을 통해 기타 ISO 기술위원회 또는 국제기관과 연계한다.

ISO/IEC 기술작업 지침서 및 기술관리부 결정사항에 따른 ISO 국제규격안 작성·배포, 회원국의 의견 편집 등도 처리한다. 소속 분과위원회 및 작업그룹의 업무조정, 해당 기술위원회의 회의 준비도 담당한다.

1947년 최초로 구성된 나사산에 대한 TC 1 기술위원회를 시작으로 순환경제를 표준화하기 위한 TC 323까지 각 TC 기술위원회의 의장, ISO 회원, 발행 표준 및 개발 표준 등에 대해 살펴볼 예정이다.

이미 다룬 기술위원회와 구성 연도를 살펴 보면 △1947년 TC 1~TC 67 △1948년 TC 69 △1949년 TC 70~72 △1972년 TC 68 △1950년 TC 74 △1951년 TC 76 △1952년 TC 77 △1953년 TC 79, TC 81 △1955년 TC 82, TC 83 △1956년 TC 84, TC 85 △1957년 TC 86, TC 87, TC 89 △1958년 TC 91, TC 92 △1959년 TC 94 △1960년 TC 96, TC 98 △1961년 TC 101, TC 102, TC 104 등이다.

또한 △1962년 TC 105~TC 107 △1963년 TC 108~TC 111 △1964년 TC 112~TC 115, TC 117 △1965년 TC 118  △1966년 TC 119~TC 122 △1967년 TC 123 △1968년 TC 126, TC 127 △1969년 TC 130~136 △1970년 TC 137, TC 138, TC 142, TC 145 △1971년 TC 146, TC 147, TC 148, TC 149, TC 150, TC 153 △1972년 TC 154 △1973년 TC 155 △1974년 TC 156~TC 161 △1975년 TC 162~TC 164 등도 포함된다.

그리고 △1976년 TC 165, TC 166 △1977년 TC 167, TC 168, TC 170 △1978년 TC 171, TC 172, TC 173, TC 174 △1979년 TC 176, TC 178 △1980년 TC 180, TC 181 △1981년 TC 182 △1983년 TC 183~TC 186 △1984년 TC 188 △1985년 TC 189, TC 190, TC 191 △1988년 TC 192~TC 194 △1989년 TC 195 △1990년 TC 197, TC 198 등이 있다.

ISO/TC 201 표면 화학 분석(Surface chemical analysis)과 관련된 기술위원회는 TC 199와 마찬가지로 1991년 결성됐다. 사무국은 일본 산업표준조사회(日本産業標準調査会, Japanese Industrial Standards Committee, JISC)에서 맡고 있다.

위원회는 사토시 곤다(Dr Satoshi Gonda)가 책임지고 있다. 현재 의장은 히데히코 노나카(Dr Hidehiko Nonaka)이다.

ISO 기술 프로그램 관리자는 주안우 주(Ms Chuanyu Zou),  ISO 편집 관리자는 아룬 ABY 파라에카티(Mr Arun ABY Paraecattil) 등이다.

범위는 표면 화학 분석 분야의 표준화다. 표면 화학 분석에는 전자, 이온, 중성 원자 또는 분자, 광자의 빔이 시료 재료에 입사되어 산란되거나 방출된 전자, 이온, 중성 원자 또는 분자, 광자가 감지되는 분석 기술이 포함된다.

또한 표면 위로 스캔하는 조사 및 표면 관련 신호를 감지하는 기술도 포함하지만 ISO/TC 202의 범위 내에 있는 주사전자현미경은 제외한다.

참고로 현재 표면 화학 분석 기술을 사용하면 분석 정보는 표면에서 가까운 영역(일반적으로 20 nm 이내)의 정보를 얻을 수 있다. 분석 정보 대비 깊이 데이터(analytical information-versus-depth data)는 더 깊은 표면 분석 기술을 사용해 얻을 수 있다.

현재 ISO/TC 201 사무국과 관련해 발행된 표준은 81개며 ISO/TC 201 사무국의 직접적인 책임 하에 발행된 표준은 8개다.

ISO/TC 201 사무국과 관련해 개발 중인 표준은 22개며 ISO/TC 201 사무국의 직접적인 책임 하에 개발 중인 표준은 2개다. 참여하고 있는 회원은 13개국, 참관 회원은 12개국이다.

□ ISO/TC 201 사무국의 직접적인 책임 하에 발행된 표준 8개 목록

▷ISO 14706:2014 Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

▷ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

▷ISO 17331:2004 Surface chemical analysis — Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

▷ISO 17331:2004/Amd 1:2010 Surface chemical analysis — Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy — Amendment 1

▷ISO 18337:2015 Surface chemical analysis — Surface characterization — Measurement of the lateral resolution of a confocal fluorescence microscope

▷ISO/TS 18507:2015 Surface chemical analysis — Use of Total Reflection X-ray Fluorescence spectroscopy in biological and environmental analysis

▷ISO/TR 19693:2018 Surface chemical analysis — Characterization of functional glass substrates for biosensing applications

▷ISO 24465:2023 Surface chemical analysis — Determination of the minimum detectability of surface plasmon resonance device

□ ISO/TC 201 사무국의 직접적인 책임 하에 개발 중인 표준 2개 목록

▷ISO/AWI TR 4550 SCA –Surface chemical analysis of bacteria and biofilms

▷ISO/FDIS 23124 Surface chemical analysis — Measurement of lateral and axial resolutions of a Raman microscope

□ ISO/TC 201 사무국 분과위원회(Subcommittee)의 책임 하에 발행 및 개발 중인 표준 현황

▷ISO/TC 201/SC 1 Terminology ; 발행된 표준 3개, 개발 중인 표준 0개

▷ISO/TC 201/SC 2 General procedures ; 발행된 표준 9개, 개발 중인 표준 2개

▷ISO/TC 201/SC 3 Data management and treatment ; 발행된 표준 5개, 개발 중인 표준 1개

▷ISO/TC 201/SC 4 Depth profiling ; 발행된 표준 6개, 개발 중인 표준 0개

▷ISO/TC 201/SC 6 Secondary ion mass spectrometry ; 발행된 표준 12개, 개발 중인 표준 2개

▷ISO/TC 201/SC 7 Electron spectroscopies ; 발행된 표준 23개, 개발 중인 표준 5개



▷ISO/TC 201/SC 8 Glow discharge spectroscopy ; 발행된 표준 6개, 개발 중인 표준 3개

▷ISO/TC 201/SC 9 Scanning probe microscopy ; 발행된 표준 8개, 개발 중인 표준 4개

▷ISO/TC 201/SC 10 X-ray Reflectometry (XRR) and X-ray Fluorescence (XRF) Analysis ; 발행된 표준 1개, 개발 중인 표준 3개









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