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산업부, 첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제 등 반도체 초강대국 달성을 위한 가스안전분야 혁신과제(11)건 선정
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산업부, 첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제 등 반도체 초강대국 달성을 위한 가스안전분야 혁신과제(11)건 선정

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산업통상자원부(장관 이창양, 이하 산업부)는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제(11건)를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선하여 기업부담을 완화할 계획이라고 밝혔다,


산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고, 반도체 제조 용도의 수입 산업가스 수급안정을 위하여 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴·개선해왔다.


특히, 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회·현장방문 등을 통하여 도출했다.


산업부는 금년 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대하여 다양한 개선과제를 발굴했으며,


이 중, 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선해 나갈 계획이라고 밝혔다.


아울러, 나머지 4개 과제에 대해서도 관련단체·업계와 간담회, 현장방문 및 전문가 검토 등을 통하여 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려하여 개선방안을 모색할 예정이라고 밝혔다.


주요 규제 및 개선 기대효과는 ▲차세대 EUV 장비의 국내도입시 걸림돌을 제거하여 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고 ▲방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 반도체공장內 부지의 활용도를 제고하도록 하는 것이다.


금번에 신속하게 개선할 예정인 고압가스안전 분야의 주요 규제혁신과제 내용은 ▲차세대 EUV장비 국내도입 허용기준 개선 ▲방호벽 관련 다양한 설치기준 허용 ▲공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준 개선 등이 있다.


박일준 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”고 강조하고,


“앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴하여 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.










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